TECNISCO
玻璃墊圈
玻璃墊圈
Spacer glass
提高與晶片產品的键合成品率
標準規格 材料 各種玻璃 玻璃尺寸 ≦φ200mm 最小厚度 0.15mm 厚度公差 ±0.01mm 最小孔徑 φ0.3mm 孔形狀 没有限制 孔徑公差 ±0.02mm 崩邊 ≦100μm 貫通孔斷面形狀 直形/ 錐形 / 階梯型 金屬化加工 可能
● 抑制孔周邊的凹陷
● 降低崩邊，最大≦100μm
選項
●除去玻璃加工時發生的微小裂痕，控制塵粒
●减少因和MEMS產品键合時產生的塵粒而引起的機械故障。
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巿場用途
投影機 半導體
•投影機的顯示器 •RF-MEMS開關
•信息傳感器
AV移動通信
•便攜產品[智能手機.便攜式遊戲機.數位相機.汽車導航]用RF開 車載
關/繼電器.壓力傳感器.回旋傳感器.加速傳感器.信息傳感器 •各種壓力傳感器.各種加速傳感器
•回旋傳感器
生物醫藥 •LED
•分析設備[DNA新藥發現/挑選]用的分析芯片
•分析設備[生化學反應.電泳]用的微型反應器
•化學傳感器.微生物檢查傳感用生物反應器
•產業用氣體探測傳感器
