液晶搬送ROBOT
SPR-902S
ロボット形狀Robot Type |
3軸円筒座標形 3axis Cylindrical Coordinate |
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本体質量 Mass |
35kg |
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可搬質量 Payload Capacity (ハンド,ホルダ含む)(Including End Effector and Holder) |
3kg or less | ||
動作範囲 Operation Range | X-axis 900mm Arm Length 300mm θ-axis 330° Z-axis 350mm |
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動作時間 Operation Speed | X-axis 2.1sec. / 120° θ-axis 2.4sec. / 180° Z-axis 4.2sec. /350mm |
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アーム水平精度(ダレ)Drooping | P-P 1.5mm or less(ハンド取付フランジから300mm位置) | ||
アーム軌跡精度(蛇行)Trajectory | ±2.0mm or less(ハンド取付フランジから300mm位置) | ||
繰返し位置精度Repeatability |
XYZ方向: ±0.2mm or less |
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クリーン度 Cleanliness |
ISO Class 4 | ||
周囲温度Ambient Temperature |
+15°C~+35°C |
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耐振動Vibration-Resistance | 4.9m/sec2 or less (0.5G or less) |