液晶搬送ROBOT
SPR-9519
| ロボット形狀Robot Type |
5軸円筒座標形 5axis Cylindrical Coordinate |
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本体質量 Mass |
300kg |
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| 可搬質量 Payload Capacity (ハンド,ホルダ含む)(Including End Effector and Holder) |
X-1axis 8kg or less X-2axis 8kg or less |
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| 動作範囲 Operation Range | X-axis 1545mm Arm Length 515mm θ-axis 340° Z-axis 800mm(Z1 400mm,Z2 400mm) |
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| 動作時間 Operation Speed | X-axis 2.1sec. / 120° θ-axis 2.2sec. / 180° Z-axis 3.6sec. /800mm |
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| アーム水平精度(ダレ)Drooping | P-P 3.0mm or less(ホルダ取付フランジから515mm位置) | ||
| アーム軌跡精度(蛇行)Trajectory | ±3.0mm or less(ホルダ取付フランジから515mm位置) | ||
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繰返し位置精度Repeatability |
XYZ方向: ±0.2mm or less |
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クリーン度 Cleanliness |
ISO Class 4 | ||
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周囲温度Ambient Temperature |
+15°C~+35°C |
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| 耐振動Vibration-Resistance | 4.9m/sec2 or less (0.5G or less) |
