產品介紹

大氣環境用ROBOT

UTX/W-RF5501RW



特 點 Features                                                                                                   
防護等級IP64可於含有水氣的環境下使用
對應特殊藥液的表面塗層處理
IP64 water/dust proof allows use in a water vapor environment.
Surface coating corresponding to special chemical solution is also available.
                                                                                                             


 

















規 格 Specifications*1 

型號 Model UTX-RF5501RW UTW-RF5501RW
ROBOT種類 Robot Type 3-axis Cylindrical
Coordinate
4-axis Cylindrical
Coordinate
動作範囲
Operation Range
X, A-axis 500mm
θ-axis 340°
Z-axis 300mm
R-axis 180°
最大動作速度
Max. Operation
Speed
X,A-axis 800mm/sec
θ-axis 130°/sec
Z-axis 200mm/sec
R-axis 150°/sec
動作時間
Cycle Time
X,A-axis 1.6sec/500mm
θ-axis 3.2sec/340°
Z-axis 2.5sec/300mm
R-axis 2.0sec/180°
位置重複精度 Repeatability XYZ direction ±0.1mm each
R direction: ±0.5°
可搬重量 Payload 1.5kg/arm(including Hand-Base, Hand, Wafer)
潔淨度 Cleanliness ISO Class 4 (ISO-14644)
ROBOT本體質量 Mass 32kg 40kg
必要諸源 Facilities For wafer Clamp: 0.25-0.3MPag
For internal pressure application and
condensation prevention: 0.05MPag
設置環境 Environment 温度 Temperature 0-40℃
濕度 Humidity 20-70%, No condensation
對應控制器 Controller CS-8100
電源 Power 100-115±10%VAC, 50/60Hz, 5A
外形尺寸 External Dimensions W: 214 x D: 315 x H: 395 mm
介面 Interface RS-232C 1port for host Controller
Parallel I / O by sequencer
安全性能 Safety Performance PLc(category 1)
設置環境
Environment
溫度 Temperature 0-40℃
濕度 Humidity 20-70%, No condensation
示教器外形尺寸 Teach Pendant External Dimensions W: 123 x D: 201 x H: 64 mm
*1. 若加購選配,搬送性能將與上列標準值有所差異。
*1. Transfer performance differs from the standard when options are added.