真空環境用ROBOT
SPR-806S
ロボット形狀Robot Type |
2軸円筒座標形 2axis Cylindrical Coordinate |
||
本体質量 Mass |
110kg |
||
可搬質量 Payload Capacity (ハンド,ホルダ含む)(Including End Effector and Holder) |
10kg or less | ||
動作範囲 Operation Range | X-axis 1500mm Arm Length 500mm θ-axis 330° |
||
動作時間 Operation Speed | X-axis 2.9sec. / 1500mm θ-axis 2.6sec. / 180° (通信時間含まず) |
||
アーム水平精度(ダレ)Drooping | P-P 6mm or less(ホルダ取付フランヅから500mm位置) | ||
アーム軌跡精度(蛇行)Trajectory | ±2mm or less(ホルダ取付フランヅから500mm位置) | ||
繰返し位置精度Repeatability |
XYZ方向: ±0.3mm or less(ホルダ取付フランヅから500mm位置) |
||
クリーン度 Cleanliness |
ISO Class 4 | ||
耐真空度Vacuum-Resistance |
1.0X10-6 Pa |
||
周囲温度Ambient Temperature |
+15°C~+70°C(Vacuum Seal Unit) |
||
耐振動Vibration-Resistance | 4.9m/sec2 or less (0.5G or less) |