真空環境用ROBOT
SPR-8504
| ロボット形狀Robot Type |
4軸円筒座標形 4axis Cylindrical Coordinate |
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本体質量 Mass |
3000kg |
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| 可搬質量 Payload Capacity (ハンド,ホルダ含む)(Including End Effector and Holder) |
X1-axis 153kg or less X2-axis 153kg or less |
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| 動作範囲 Operation Range | X-axis 3046.7mm Arm Length 920mm θ-axis 330° Z-axis 150mm |
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| 動作時間 Operation Speed | X-axis 4.0sec. / 3046.7mm θ-axis 3.2sec. / 180° Z-axis 2.3sec. /150mm (通信時間含まず) |
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| アーム水平精度(ダレ)Drooping | P-P 32mm or less(ホルダ取付フランヅから1800mm位置) | ||
| アーム軌跡精度(蛇行)Trajectory | ±16mm or less(ホルダ取付フランヅから1800mm位置) | ||
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繰返し位置精度Repeatability |
XYZ方向: ±0.5mm or less(ホルダ取付フランヅから1800mm位置) |
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クリーン度 Cleanliness |
ISO Class 4 | ||
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耐真空度Vacuum-Resistance |
1.3X10-6 Pa |
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周囲温度Ambient Temperature |
+15°C~+80°C(Vacuum Seal Unit) |
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| 耐振動Vibration-Resistance | 4.9m/sec2 or less (0.5G or less) |
