大氣環境用ROBOT
UTW-REH5500
特徵
► 450WPHの高速搬送で裝置の
スループット向上に貢獻
► High speed 450 WPH.
仕様 ※1
| 型式 Model |
UTW-REH5500 |
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ロボット形状 Robot Type |
4 axis Cylindrical Coordinate |
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動作範囲 |
X, A-axis |
+500mm/(-126mm) |
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θ-axis |
340° |
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Z-axis |
300mm |
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最大動作速度 |
X, A-axis |
1800mm/sec |
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θ-axis |
360°/sec |
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Z-axis |
600mm/sec |
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分解能 |
X, A-axis |
0.0056mm/pulse or less |
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θ-axis |
0.001°/pulse |
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Z-axis |
0.001mm/pulse |
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繰返し位置精度 Repeatability |
XYZ方向：各±0.1mm |
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可搬質量 Payload |
0.5kg/arm(ハンド質量を含む Including E/E) |
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クリーン度 Cleanliness |
ISO Class 3 (ISO-14644) |
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本体質量 Mass |
32kg |
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必要諸源 Facilities |
真空 Vacuum |
-80kPag or less, 10NL/min |
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| 電源 Power | 3 Phases 200-230±10% VAC 15A | ||
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設置環境 Environment |
温度 Temperature |
0-40℃ |
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湿度 Humidity |
70% or less (No condensation) |
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