真空環境用ROBOT
UT-VDW3000HS
UT-VDW3000HS Series
～300mmウエハ用
世界最速級(650WPH)の真空内高速搬送によ
り、装置スループットの大幅な向上に貢献す
る高速・低振動ダブルアーム真空ロボット
特長
●世界最速級(650WPH)の真空内高速搬送を実現
●ダイレクトドライブモータ搭載により、アーム動作時の振動を大幅に低減
●アーム部にスチールベルトを採用し軌跡精度と位置決め精度の向上
●ハンド上に高摩擦パッドを採用しウエハ搬送ずれ防止
●ウエハセンター位置ずれ補正機能付き
規 格 Specifications*1
| 型號 Model | UT-VDW3000HS series | ||||
| 分類 Category | Standard Type | ||||
| Robot種類 Robot Type | 4軸圓筒座標型 : 4 axis Cylindrical Coordinate | ||||
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動作範圍 |
X1,X2-axis | 620mm | |||
| θ-axis | 346° | ||||
| Z-axis | 50mm | ||||
| 最大速度 Max. Operation Speed |
X1,X2-axis | 380°/sec. | |||
| θ-axis | 300°/sec. | ||||
| Z-axis | 185mm/sec. | ||||
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動作時間 |
X1,X2-axis | 0.6sec./620mm | |||
| θ-axis | 0.7sec./90° | ||||
| Z-axis | 0.25sec./20mm | ||||
| 位置重覆精度 Repeatability | XYZ direction: ±0.1mm each (3σ) (※2) | ||||
| 可搬重量 Payload | 2kg (※3) | ||||
| 潔淨度 Cleanliness | ISO Class 1 | ||||
| Robot本體質量 Mass | 160kg | ||||
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設置環境 |
溫度 Temperature | 5-40℃(本體)/5-80℃(Arm表面) | |||
| 濕度 Humidity | 20-70%, No condensation | ||||
| 壓力 Pressure | Atmospheric pressure ～ 10-6Pa | ||||
＊1. 若加購選配，搬送性能將與上列標準值有所差異。
＊2. 基於我們的評估條件
＊3. HAND BASE , HAND, 晶圓的合計重量
